burkert 8711氣體質(zhì)量調(diào)節(jié)器

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寶得8711氣體質(zhì)量調(diào)節(jié)器（MFC）工作原理:

型號 8711 是一臺用于調(diào)節(jié)氣體質(zhì)量流量的裝置，適合工藝技術(shù)領(lǐng)域內(nèi)大多數(shù)的用途。在數(shù)字的電子調(diào)節(jié)設(shè)備中，會將以硅芯片為基礎(chǔ)的傳感器（參見第 2 頁的描述）提供的數(shù)值，與規(guī)定的額定值進(jìn)行比較；存在調(diào)節(jié)偏差時，會通過一種 PI 調(diào)節(jié)算法對發(fā)送到比例閥上的調(diào)節(jié)參數(shù)進(jìn)行修改，由此補(bǔ)償調(diào)節(jié)偏差。因?yàn)閭鞲衅髦苯犹幱跉饬髦校詼y量反應(yīng)時間非常短。質(zhì)量流量可以保持在一個確定的數(shù)值上，或遵循規(guī)定的額定值曲線輪廓，而不會受到壓力波動或設(shè)備中其他變化的影響。可針對兩種不同的氣體對型號 8711 進(jìn)行校準(zhǔn)，用戶可在兩者之間進(jìn)行轉(zhuǎn)換。一個直動式比例閥作為調(diào)節(jié)元件，確保了高反應(yīng)靈敏度和裝置良好的調(diào)節(jié)特性。典型的用途是，在以下領(lǐng)域中進(jìn)行氣體計(jì)量或配制混合氣體：試驗(yàn)臺、生物反應(yīng)堆、熱處理、材料涂層、燃燒器控制以及燃料電池技術(shù)。

burkert 8711 氣體質(zhì)量流量計(jì)特點(diǎn)

采用 MEMS 技術(shù)的直接流量測量裝置，適合額定流量范圍 10 mlN/min 至 80 lN/min (N2)
高精度和高重復(fù)精度
調(diào)整時間短
可選的現(xiàn)場總線